相對濕度，指空氣中水汽壓與相同溫度下飽和水汽壓的百分比。而潔凈室相對濕度操控欠好，就有可能使潔凈室整體體現下降，而且還會(huì )帶來(lái)以下這些一系列的影響。那我們一起來(lái)看看潔凈室相對濕度操控欠好會(huì )有什么具體的影響吧！

　?。?、細菌成長(cháng)

　　細菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng)）在相對濕度超越６０％的環(huán)境中能夠活潑地繁衍。一些菌群在相對濕度超越３０％時(shí)就能夠添加。而相對濕度處于４０％至６０％的規模之間時(shí)，能夠使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以無(wú)塵車(chē)間的相對濕度需要操控在必定規模。

　?。?、簡(jiǎn)單形成潔凈室里的金屬腐蝕

　　很多化學(xué)反響的速度，包括腐蝕過(guò)程，將跟著(zhù)相對濕度的增高而加快。所有暴露在無(wú)塵車(chē)間周?chē)諝庵械耐獗矶己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。一些金屬，例如鋁，能夠與水形成一層維護型的氧化物，并阻撓進(jìn)一步的氧化反響；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有維護才能的。在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更簡(jiǎn)單遭到腐蝕。

　?。?、呈現靜電荷

　　當相對濕度超越５０％時(shí)，靜電荷開(kāi)端敏捷散失，可是當相對濕度小于３０％時(shí)，它們能夠在絕緣體或者未接地的外表上繼續存在很長(cháng)一段時(shí)間。潔凈室相對濕度在３５％到４０％之間能夠作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導體無(wú)塵車(chē)間一般都使用額定的操控裝置以限制靜電荷的積累。

　?。?、吸水性

　　相對濕度操控欠好，對潔凈室吸水性產(chǎn)出必定的影響。

　?。?、水汽冷凝

　　在相對濕度較高的潔凈室環(huán)境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和外表之間形成了連接鍵，能夠添加顆粒與硅質(zhì)外表的黏附力。這種效應稱(chēng)為凱爾文濃縮，便是當相對濕度小于５０％時(shí)并不重要，但當相對濕度在７０％左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的首要力量。

　?。?、人體皮膚枯燥

　　如果潔凈車(chē)間濕度過(guò)高會(huì )使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于３０％則會(huì )讓人感覺(jué)枯燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　?。?、潔凈車(chē)間光刻的退化

　　在半導體潔凈車(chē)間中最迫切需要適度操控的是光刻膠的敏感性。因為光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的操控規模的要求是最嚴格的。相對濕度和溫度關(guān)于光刻膠穩定性以及準確的尺度操控都是很關(guān)鍵的。乃至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將跟著(zhù)相對濕度的上升而敏捷下降。當然，改動(dòng)粘性，就會(huì )改動(dòng)由固定組分涂層形成的維護膜的厚度。

　　此外，在高的相對濕度環(huán)境下，因為水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著(zhù)力相同也能夠遭到較高的相對濕度的負面影響；較低的相對濕度（約３０％）使光刻膠附著(zhù)愈加簡(jiǎn)單，乃至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷（ＨＭＤＳ）。

文章源自：江門(mén)潔凈工程 www.redstatemb.com